Akwụkwọ mpempe akwụkwọ PFA

Akụrụngwa Raw: DuPont PFA resin (USA), nke emepụtara na klaasị 10,000 dị ọcha ogbako iji hụ na ịdị ọcha dị elu nke akwụkwọ mkpuchi (na-adaba na mkpa semiconductor{2}} ọkwa ọkwa).
Usoro: RANA na-emepụta na 9,000㎡ PPB/PPT{2}}ọkwa dị ọcha ma nakweere usoro "ọkụ{3} pịa agbaze" maka ịkpụzi integral, na-ezere urughuru mmetọ n'oge mmepụta na hụ na ịdị ọcha nke lining Sheet.

Isi: Njirimara "ịdị ọcha dị elu + nguzogide corrosion dị elu" nke PFA na-eme ka ọ bụrụ ihe mkpuchi maka semiconductor dị elu - akụrụngwa dị ọcha, na-ezere mmetọ ion nke mgbasa ozi (dịka, eletrọnịkị-ọkwa hydrogen peroxide) na ịgba mbọ hụ na mpụta ngwaahịa ala.
Uru: Ekwenyere site na SMIC, ọdịnaya ion metal ahụ erughi ma ọ bụ ha nhata na 0.05ppb mgbe echekwabara eletrọnịkị-grade hydrogen peroxide (ọkọlọtọ ụlọ ọrụ 0.1ppb), yana oke nguzogide okpomọkụ nke -200 ogo ruo ogo 260 . Dịka onye otu ụlọ ọrụ China Semiconductor Industry Association, ngwaahịa ahụ agafeela asambodo siri ike site na SMIC, BOE na ụlọ ọrụ ndị ọzọ.

Ihe ngosi ngwa: A na-eji ya na semiconductor dị elu{0}} akụrụngwa dị ọcha (dịka ọmụmaatụ, eletrọnịkị{3}} tankị nchekwa hydrofluoric acid) yana akụrụngwa sterile ọgwụ (dịka ọmụmaatụ, tankị nchekwa ihe nje) na-achọ ịdị ọcha dị elu na ịdị ọcha dị elu. Ọ enyerela ndị ahịa aka ịkwalite mkpụrụ mgbawa (dịka ọmụmaatụ, mkpụrụ wafer 12-inch na-abawanye site na 2%) wee belata mfu ihe mkpofu ngwaahịa na-akpata.

Ihe nchịkọta dị ọkụ: Mpempe akwụkwọ mkpuchi PFA, China PFA mkpuchi mkpuchi, ndị na-ebu, ụlọ ọrụ